APLICAÇÃO TÍPICA
Microscopia eletrónica de varrimento de transmissão,Microscopia eletrónica de varrimento,Análise de semicondutores,Fresagem e reparação,Gravação por feixe de iões,Litografia por feixe de iões focalizado
A série HSEM de fontes de alimentação de alta tensão da Wisman é composta por fontes de alimentação de alta tensão de múltiplas saídas dedicadas à focalização de feixes de iões. As aplicações típicas incluem microscópios electrónicos de transmissão e de varrimento; análise de semicondutores, fresagem e reparação de cabeças de acionamento ótico, iões; gravura por feixe e litografia por feixe de iões focalizados. O método de conceção modular permite que os componentes individuais sejam facilmente configurados e montados num grande chassis num bastidor comum. Os circuitos de interface, lógica e controlo são de tecnologia de montagem em superfície para minimizar o custo e o tamanho. Integra fonte de alimentação de aceleração, fonte de alimentação de filamento, absorve energia polar, inibe a energia polar e a energia da lente. Ondulação de saída ultra-baixa, excelente taxa de ajuste, estabilidade, desvio de temperatura e precisão. Suspensão de alta tensão patenteada e tecnologia de controlo digital. A série HSEM de módulos de alta precisão tem um preço competitivo e é ideal para aplicações OEM.
Fonte de alimentação do acelerador
Corrente de saída: 300μA
Ondulação: 120 mV P-P, de 0,1 Hz a 1MHZ
Regulação de linha: variação de entrada + / -10% para 100mV
Regulação de carga: ± 0,01%, tensão máxima, variação de carga total
Estabilidade: 1,5V/10 horas após aquecimento de 2 horas
Coeficiente de temperatura: 25 PPM / °C
Fonte de alimentação do filamento
Ondulação: 10mA P-P, de 0,1 Hz a 1MHZ
Regulação da linha: + / -10% de variação para 5mA
Regulação de carga: ± 0,1%, tensão máxima, mudança de carga total
Estabilidade: 5mA/10 minutos após aquecimento durante 2 horas
Coeficiente de temperatura: 200 PPM / °C
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