Amplificador de tensão ECA

de comutaçãode alta tensãobipolar

A série ECA é composta por amplificadores de alta tensão para mandris electrostáticos (E-Chuck, ESC). Para além da comutação de polaridade e da ligação à terra forçada, esta série também oferece um sistema de monitorização de bolachas para as necessidades de inspeção de bolachas. Além disso, com uma ampla gama de tensões, a série suporta mandris electrostáticos Coulomb e Johnsen-Rahbek. Aplicação típica: Manuseamento de materiais com acionamento eletrostático Processamento de bolachas semicondutoras Transferência não mecânica de folhas planas ou outros materiais processados sensíveis ao manuseamento mecânico Caraterísticas e vantagens: Deteção fiável do estado de fixação/libertação por sensor de bolacha Resposta rápida do design da arquitetura do amplificador (design "sem inversão de polaridade do relé" para elevada fiabilidade e longa duração) "Controlo independente de canal duplo (opção)" e "definição da tensão da tomada central (opção)" para várias operações de fixação/libertação Equipado com interface digital LAN, USB, RS-232C Filtro RF passa-baixo incorporado (13,56 MHz) TC opcional Polarização de derivação central 0 a ±[tensão de taxa máxima - ponto de ajuste de tensão] Opcional ET Interface Ethernet CAT [brevemente] DS opcional Controlo independente de canal duplo Opcional AC Opcional L7 Cabo de saída de alta tensão 7m x 3 (2 quando CT ou DS é selecionado)