Máquina de deposição PVD RTSP1000

PECVDpor pulverização catódica de magnétronpor evaporação par arco

O campo fechado desequilibrou o magnétron que engasga o sistema do depósito, magnétron desequilibrado que engasga o chapeamento do íon Os processos desequilibrados e fechados do magnétron do campo têm todas as vantagens de magnétrons planares. As vantagens e as desvantagens adicionais são: -Bombardeio adicional do íon tendo por resultado filmes densos, aderentes -Assistência do íon e limpeza da carcaça possível -Tribológico melhorado, desgaste e filmes resistentes à corrosão -Favorável aos filmes multilayer, do superlattice, os nanolaminant e do nanocomposite -Uso de materiais mais pobre -Configuração/despesa mais complexas do cátodo Magnétron desequilibrado e fechado do campo que engasga as propriedades revolucionadas realizáveis pelo magnétron que engasga processos. Como bem sucedido com o filme fino melhorado tribológico, a resistência de corrosão e as propriedades óticas como esta tecnologia eram, melhorias na tecnologia do magnétron tinham começado apenas. Blogue que seguinte nós nos movemos em aplicações do filme fino girando e cilíndrico dos processos e resultar do magnétron.