Máquina de deposição PVD Multi950

PECVDpor pulverização catódica de magnétronpor evaporação par arco

Máquina de revestimento a vácuo de estrutura de poliedro de sistema de deposição de filmes ópticos PECVD e Magnetron A máquina Multi950 é um sistema personalizado de deposição a vácuo de múltiplas funções para P&D. Com a discussão de meio ano com a equipe da Universidade de Xangai, liderada pelo professor Chen, finalmente confirmamos o design e as configurações para atender às suas aplicações de P&D. Este sistema é capaz de depositar filme DLC transparente com processo PECVD, revestimentos duros em ferramentas e filme óptico com cátodo de pulverização. Com base nesse conceito de projeto de máquina piloto, desenvolvemos outros três sistemas de revestimento: 1. Revestimento de placa bipolar para veículos elétricos com célula de combustível - FCEV1213, 2. Cobre chapeado direto de cerâmica - DPC1215, 3. Sistema de pulverização flexível - RTSP1215. Estas máquinas de 4 modelos são todas com câmara Octal, desempenhos flexíveis e confiáveis ​​são amplamente utilizados em várias aplicações. Satisfaz que os processos de revestimento exijam várias camadas metálicas diferentes: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS e muitos outros metais não-feeromagnéticos; além da unidade de fonte de íons, aprimora eficientemente a adesão de filmes em diferentes materiais de substrato com seu desempenho de gravação de plasma e o processo PECVD para depositar algumas camadas à base de carbono. O Multi950 é o marco dos sistemas de revestimento de design avançado para a Royal Tech. Aqui, agradecemos aos estudantes da Universidade de Xangai e, especialmente, ao Process Yigang Chen, sua dedicação criativa e altruísta são valores ilimitados e inspirou nossa equipe.