Máquina de deposição por CVD RT-Parylene Coating-CVD-1

de parilenoa vácuopara optoeletrônica

Que é parylene? É um material protetor do poliéster transparente e incolor. É apropriado para o revestimento de vácuo na temperatura ambiente, e a pressão do revestimento de vácuo está abaixo de 10-5 Torr, quando o processo de revestimento Parylene for aproximadamente 0,1 Torr. A espessura do revestimento pode ser controlada entre 1-100 mícrons. O revestimento é uma patente desenvolvida pelo Estados Unidos no início dos anos 1960. Foi aplicado primeiramente ao campo de componentes microeletrónicos para os dispositivos impressos militares das placas de circuito dos E.U., os aeroespaciais e os subaquáticos do lançamento, 1972 incluídos nos padrões militares dos E.U. dentro: MIL-I-46058C Micro e tecnologia de processamento nano: depósito de vapor químico (CVD) Põe os nano-materiais pulverizados na câmara da evaporação do equipamento do nano-revestimento do vácuo, e evapore em moléculas gasosas em uma temperatura de 150℃-180℃. Sob a ação do vácuo (1.0*10-2torr), os nanomolecules gasosos abaixo de 10nm participam no rachamento na câmara de rachamento, a alta temperatura em 680°C-700°C é rachada em monômeros reativos, e os monômeros ativos e os monômeros re-são polimerizados para formar uma camada densa e furo de pino-livre do nano-filme.