Medidor de espessura estacionário SK-FTM series
de filme plásticopor refletância espectralde precisão

medidor de espessura estacionário
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Características

Tipo
estacionário
Material tratado
de filme plástico
Tecnologia
por refletância espectral
Outras características
de precisão, em linha
Gamas de medição

MÍN: 10 nm

MÁX: 50.000 nm

Temperatura ambiente

MÍN: 18 °C
(64,4 °F)

MÁX: 45 °C
(113 °F)

Descrição

O monitor de espessura de película compacto é um medidor de espessura de película espectrofotométrico de reflexão que utiliza uma pequena sonda de reflexão e é aplicável em todas as situações, desde o nível laboratorial até à inspecção em linha a 100% no processo de produção. Tem uma excelente capacidade de manutenção e pode ser utilizado para incorporação em equipamento de processo e gestão de linha. É possível a medição simultânea de até 9 tipos de películas transparentes. Pode ser utilizada como um monitor em linha ou de ponto final para os vários processos de película multi-camadas. A sonda compacta pode ser instalada num pequeno espaço dentro da ferramenta de processo. Também é possível avaliar o rácio de mistura da camada mista ou a cristalinidade do poli-silício utilizando a teoria EMA.

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