O monitor de espessura de película compacto é um medidor de espessura de película espectrofotométrico de reflexão que utiliza uma pequena sonda de reflexão e é aplicável em todas as situações, desde o nível laboratorial até à inspecção em linha a 100% no processo de produção. Tem uma excelente capacidade de manutenção e pode ser utilizado para incorporação em equipamento de processo e gestão de linha.
É possível a medição simultânea de até 9 tipos de películas transparentes.
Pode ser utilizada como um monitor em linha ou de ponto final para os vários processos de película multi-camadas.
A sonda compacta pode ser instalada num pequeno espaço dentro da ferramenta de processo. Também é possível avaliar o rácio de mistura da camada mista ou a cristalinidade do poli-silício utilizando a teoria EMA.
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