Medidor de espessura estacionário SK-FTM-Map series

de filme plásticopor refletância espectralcom calibração automática

A unidade de mapeamento de bolachas é capaz de efectuar medições de espessura de película de mapeamento automático em toda a superfície de bolachas até 300 mm. A função de alinhamento automático, a função de auto-calibração e o mandril de wafer de alta planicidade permitem uma medição de espessura de película altamente fiável. Esta unidade é utilizada em combinação com o monitor compacto de espessura de película. Pode ser instalada na porta de carga do equipamento de fabrico de semicondutores para controlar a espessura da película no equipamento de fabrico, mantendo a limpeza. 1 É possível a medição automática do mapeamento da espessura da película de bolachas até 300 mm 2 Função de alinhamento automático 3 Função de calibração automática 4 Melhoria da fiabilidade da medição na superfície da bolacha através da adopção de um mandril de bolacha com elevada planicidade 5 Suporta automação 6 Instalação de porta de carga