Medidor de espessura estacionário SKM-iFTM series

de filme plásticopor refletância espectral

O monitor de espessura de película por imagem é uma ferramenta de metrologia que pode visualizar a distribuição da espessura da película de uma película transparente multicamada. Pode visualizar a distribuição da espessura da película com uma resolução de espessura de 0,1 nm, utilizando a reflectometria espectroscópica. Visualizar a uniformidade da espessura da película Mede a espessura/qualidade da película no campo de visão do microscópio, mostra a distribuição 3-D Resolução da espessura da película : <0,1nm Boa resolução de espessura equivalente às ferramentas de espectrometria. O comprimento de onda pode ser seleccionado de 450nm a 750nm com uma precisão de 1nm. Alta velocidade / Medição multicamada até 9 camadas Processamento paralelo pela reflectometria espectroscópica Aplicações avançadas ① Várias centenas de películas repetidas, como os filtros de interferência passa-banda e películas compostas multicamadas, como a estrutura de trincheira ② Estimativa da densidade de padrões submicrónicos utilizando a Aproximação do Meio Eficaz (EMA) ③ Avaliação da cristalinidade da área local, como recozimento a laser