Vedação ferro-fluídica, pode ser personalizada 1-3 produtos diferentes
O cliente personalizou o comprimento do braço e o desenho do dedo de acordo com a cavidade
Cumpre os requisitos de vácuo de 10-6Pa, resistente ao calor
Com proteção contra colisão e função AWC
Os produtos de automação de sala limpa da SIASUN tornaram-se agora itens únicos serializados através de vários anos de deposição de tecnologia, foco na construção de unidade modular e plataforma de equipamentos, conjuntos de tomadas e escala para as metas de desenvolvimento. As aplicações robóticas cobrem principalmente os campos de equipamento IC, FPD, PV, eletrónico, etc. A SIASUN pode fornecer soluções tecnológicas completas e projectos chave-na-mão para o cliente, detém os direitos de propriedade intelectual independentes e a tecnologia de base. Liderando o nível técnico nacional, o nível técnico robótico de sala limpa da SIASUN alcançou o nível internacional avançado.
Atualmente, os utilizadores de produtos para salas limpas estão espalhados por mais de 10 províncias e Taiwan. As aplicações industriais são ETCH, MOCVD, MEMS, CMP e etc., e cumprem os requisitos dos processos de semicondutores como PVD, CVD, TRACK, PHOTO, IMP. Entretanto, o desempenho robótico continua a aumentar, o processo robótico de alta temperatura e resistente à corrosão continua a melhorar. Muito mais flexibilidade e maior desempenho com design personalizado podem atender às necessidades máximas dos clientes.
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