Máquina de revestimento tipo roll-to-roll

Revestimento à escala de produção PECVD Aplicação CVD com plasma reforçado de pilha p-i-n tandem de silício hidrogenado amorfo em folhas de metal para produção de multicamadas de absorção solar. Engenharia e Tecnologia O sistema de revestimento PECVD é uma unidade de produção tipo rolo a rolo, projetada para o revestimento a vácuo unilateral de folhas metálicas de até 1340 mm de largura. A zona de deposição consiste em um ou mais eletrodos de RF dentro de um volume à prova de gás e é configurada para deposição ascendente. A configuração particular das zonas de deposição evita a contaminação cruzada. O substrato é pré-aquecido antes da deposição do revestimento, aquecido durante o processo de deposição e resfriado após o revestimento. Os gradientes de temperatura na folha não excedem 4 oC/cm. A temperatura nos dispositivos elétricos, a placa curva e o substrato são monitorados com termopares e sensores IR. O substrato é mecanicamente suportado por uma placa curva aquecida. A placa curva é composta por vários segmentos com um raio de curvatura de 10 metros. O sistema de enrolamento irreversível garante uma tensão e um manuseio otimizado da folha de alumínio sem arranhar e enrugar. O sistema de bombeamento é composto por bombas de reforço mecânico e bombas de desbaste a seco. As zonas de RF têm linhas de bomba separadas e com estrangulamento para variar os fluxos de gás e a pressão de forma independente em cada zona. Plataforma de serviço de dois níveis, porta de câmara móvel e eléctrodos de RF garantem simplicidade de manutenção. O sistema de controle aplica um conceito modular para uma fácil extensão do software de controle. Ficha de Dados Substrato: folhas de metal Largura do substrato: até 1340 mm Espessura do substrato: 50 ... 100 µm Diâmetro máximo do rolo: até 820 mm Revestimento: a-Si:H Velocidade de enrolamento: 0,05 ... 0,5 m/min