Máquina de deposição por pulverização catódica de magnétron SAF25/50

Ferramentas multifuncionais de clusters de I&D SAF Aplicação A ferramenta multifuncional SAF25/50 destina-se a trabalhos de investigação e desenvolvimento, bem como a estudos de viabilidade e a trabalhos académicos mais gerais no domínio das tecnologias de película fina. Engenharia e tecnologia A ferramenta é um sistema multifuncional, expansível, modular e flexível. A ferramenta inclui uma câmara de entrada/saída com canhão de iões, uma câmara central de transferência de substrato com braço de transporte telescópico radial e até 7 câmaras de deposição. O substrato é posicionado horizontalmente num suporte. As zonas de deposição estão configuradas para rotação ou deslocação do substrato durante a deposição ascendente. A multifuncionalidade e a flexibilidade da ferramenta baseiam-se nas seguintes características principais: - Cada câmara pode funcionar de forma independente devido a meios de bombagem, controlos e ligações de utilidades individuais. - As câmaras de deposição e as fontes de deposição são intercambiáveis. - A câmara de transferência central evita a contaminação cruzada do processo e assegura a transferência do substrato sem ventilação das câmaras. - Podem ser integrados vários tipos de fontes de deposição, incluindo células térmicas de sublimação, barcos resistivos, cadinhos e magnetrões de pulverização. - Os magnetrões de pulverização dupla, simples e dupla podem ser alimentados por fontes de alimentação CC, CC pulsada, MF e RF. - É possível o arrefecimento e o aquecimento do substrato com e sem contacto. - Podem ser adicionadas uma caixa de luvas para carregamento do substrato em atmosfera de gás inerte e um depósito de substrato. - O número preliminarmente acordado de flanges de encaixe instaladas nas câmaras permite a fixação de instrumentos e acessórios tecnológicos personalizados.