Máquina de deposição por pulverização catódica vertical em linha 2SV2215MR

para espelho

O sistema de pulverização catódica em linha vertical 2SV2215MR é um sistema modular flexível destinado à deposição de pilhas multicamadas de uma ou duas faces em vidro plano. O sistema em linha é utilizado para a produção de vidro arquitetónico, fotovoltaico, de molduras para arte e de vidro para horticultura. Engenharia e tecnologia O sistema é concebido como uma estrutura de extremidade única com câmaras de fecho, transferência e deposição. As estações robotizadas de carga e descarga de vidro, bem como o armazém de troca de suportes estão dispostos no lado de entrada/saída do sistema. A câmara para o movimento transversal das cassetes serve para a transferência do vidro da via de fluxo direto para a via de fluxo posterior para o revestimento da segunda face do vidro. São utilizados suportes personalizados para a fixação e transferência do vidro, o vidro é posicionado verticalmente sem inclinação. O posicionamento vertical do vidro e dos magnetrões permite uma deposição sem partículas. Fontes de feixes de iões lineares (4 unidades por cada lado do vidro) são utilizadas para o pré-tratamento de ambos os lados do vidro. Cada câmara de deposição está dividida em dois compartimentos semelhantes e isolados para a deslocação direta e inversa das cassetes para o revestimento sucessivo de ambas as faces do vidro. Os compartimentos de pulverização estão equipados com magnetrões duplos rotativos de alta velocidade alimentados com fontes de alimentação MF (13 magnetrões duplos por cada lado de vidro). Cada compartimento de deposição é isolado por zonas de separação de gás bombeado para baixo. Canais PEM separados e colectores de alimentação de gás multi-sectoriais para cada magnetrão duplo, bem como a medição in situ dos parâmetros ópticos de cada camada depositada, proporcionam um controlo ótimo do processo e a uniformidade de revestimento necessária.