Máquina de deposição por pulverização catódica

de filme metalizado

Revestidor de evaporação EB Aplicação Revestimento de folhas metálicas por meio de evaporadores de feixe de electrões para a produção de camadas de metal e óxidos para várias aplicações funcionais. Engenharia e tecnologia A máquina de revestimento por evaporação EB é uma instalação de lotes rolo a rolo para utilização na produção em massa e em trabalhos de I&D. As zonas de deposição estão dispostas em torno de dois tambores de processo. O design patenteado dos tambores de processo refrigerados e de ventilação assegura uma remoção eficaz do calor do substrato. Podem ser depositados revestimentos de duas faces e de uma face com uma espessura até 5 µm em substratos relativamente finos numa única passagem. Antes da deposição do revestimento, o substrato é pré-tratado com plasma e são aplicadas camadas de adesão de metal para garantir a qualidade do revestimento e a força de adesão. A deposição é realizada por 12 canhões de feixe de electrões (6 unidades por cada tambor) que geram uma evaporação de alta velocidade. Cada evaporador inclui um cadinho arrefecido a água e um mecanismo de alimentação de lingotes de evaporante. O reabastecimento controlável de lingotes de evaporante e a monitorização contínua do nível de fusão do evaporante em cada cadinho garantem a uniformidade do revestimento. A conceção da câmara com vários compartimentos proporciona a diferença de pressão necessária entre as zonas de pré-tratamento, pulverização catódica e evaporação. A estação de bombagem é baseada em CTI-Cryogenics On-Board Cryopumps. O sistema de enrolamento controlado por software com células de carga e o método específico de espalhamento do substrato nos tambores de processo garantem o manuseamento da banda sem riscos e rugas. O sistema de controlo funciona nos modos automático e manual. Folha de dados Substrato: folhas metálicas Largura do substrato: até 600 mm Espessura do substrato: 20 ... 100 µm Diâmetro do rolo: até 300 mm