Sistema de vibração para microestruturas e MEMS
- medição de vibrações de alta precisão e sem contacto em micro-objectos
- fácil ajuste e manuseamento
- extensas opções de acionamento
- Mesa X-Y 50 mm x 50 mm, outras opções a pedido
- Objetiva de microscópio 10x, 20x, 50x
- Diâmetro do ponto 2 µm - 10 µm, (dependendo da objetiva)
- É possível a utilização OEM da unidade do vibrómetro
- interfaces abertas para software OEM em Windows e Linux
- Software FFT para análise espetral
O Nano Vibration Analyzer NA é uma combinação de um vibrómetro acoplado a fibra da série LSV 120 NG com um microscópio de engenharia. O sistema é ideal para medir o comportamento dinâmico e a deflexão estática de microestruturas, MEMS e cantilevers. Dependendo da objetiva utilizada, é possível obter um tamanho de ponto de medição inferior a 2 µm.
O objeto medido pode ser posicionado e digitalizado ao longo de uma vasta gama utilizando um estágio X-Y e pode ser observado através de uma câmara. A objetiva do microscópio é intermutável e define tanto a gama visível como o diâmetro do ponto laser. A resolução de deslocamento alcançável do vibrómetro interferométrico a laser é da ordem dos picómetros e podem ser analisadas frequências de vibração até 5 MHz.
Um software especialmente desenvolvido é oferecido para a aquisição e exibição dos dados de medição. Para além da análise de frequência da vibração e do registo de medições desencadeadas, este software permite o controlo da mesa X-Y e de um gerador de frequência externo. Sequências de medição mais extensas podem ser automatizadas através de scripts.
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