Sistema de nanoposicionamento de 3 eixos NMM-1

a laserópticoindustrial

Posicionamento, manipulação, processamento e medição de objectos e estruturas com precisão nanométrica - a máquina de nanoposicionamento e nanometrologia mais precisa do mundo - gama de medição e posicionamento 25 x 25 x 5 mm - resolução de 0,1 nm - sistema de posicionamento e medição 3D da mais alta precisão - sistemas de sondagem, por exemplo, sensores de foco laser, microscópios de força atómica, sensores de luz branca, micro scanners 3D - a arquitetura aberta do dispositivo permite a aplicação de sensores personalizados - o NMM-1 é controlado através de um software para PC. A API do utilizador está disponível. A máquina de nanoposicionamento e nanomedição para medição de coordenadas tridimensionais funciona numa gama de medição de 25 mm x 25 mm x 5 mm com uma resolução de 0,1 nm. Uma disposição especial dos sensores garante uma medição sem aberrações nos três eixos de coordenadas. Os eixos de medição de três interferómetros em miniatura cruzam-se praticamente no ponto de contacto entre o sensor de apalpação e o objeto medido. O objeto medido encontra-se diretamente sobre um canto de espelho móvel. A posição do canto do espelho é detectada pelos três interferómetros miniatura fixos. O canto do espelho é posicionado com um sistema de acionamento de três eixos. Dois sensores de ângulo são utilizados para medir e compensar os desvios angulares durante o posicionamento. A luz de um laser estabilizado é transmitida da unidade eletrónica para as cabeças do interferómetro através de fibras ópticas. O resultado é um design compacto e estável à temperatura da máquina de nanoposicionamento e nanomedição.