Sistema de posicionamento trípode TRIPOD 52-6DoF
de 6 eixosXYZlinear

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Características

Número de eixos
XYZ, de 6 eixos
Construção
linear, rotativo, trípode
Aplicações
a vácuo
Repetibilidade

50 nm

Curso

6 mm, 31 mm
(0,24 in, 1,22 in)

Descrição

O sistema de movimento TRIPOD 52-6DoF tem seis graus de liberdade e utiliza o posicionador piezoelétrico de alta precisão SMARSLIDE. O componente central do TRIPOD 52-6DoF é a plataforma cinemática paralela de ponta/inclinação TRIPOD 52-Core. A sua conceção com três torres dispostas radialmente permite um movimento de rotação e inclinação da placa superior com um curso total de 20° para Rx, 19° para Rx e uma translação linear na direção Z de 6 mm. No topo do TRIPOD 52-Core, uma plataforma de rotação SR-3211 permite uma rotação ilimitada em torno do eixo Z. O TRIPOD 52-Core é totalmente compatível com o sistema modular CLS-52 e é colocado numa plataforma XY constituída por duas plataformas de translação linear CLS-52. A placa inferior permite uma montagem direta numa placa de ensaio ótica padrão com uma grelha de 25 mm. Os valores do curso de rotação são dados para um ponto de articulação na superfície da placa superior. Os valores do curso de rotação são dados para um ponto de rotação na superfície da placa superior. As dimensões globais do sistema completo podem ser maiores para poses diferentes. Para mais informações, consulte o modelo CAD na área de descarregamento. A repetibilidade é medida a cerca de 20 mm acima da placa superior de cada sistema, ao longo de toda a gama de deslocações e para um único grau de liberdade de cada vez. Os valores podem ser melhores para intervalos de deslocação mais curtos.

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Catálogos

SmarAct Catalog 20
SmarAct Catalog 20
212 Páginas
Catalog 22
Catalog 22
182 Páginas
CATALOG 2024
CATALOG 2024
188 Páginas

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