O SMS-20-20 consiste em duas fendas perpendiculares orientadas uma para a outra. Totalmente motorizado para definir com precisão o tamanho e a posição da abertura retangular.
Quatro lâminas móveis independentes alinhadas em dois pares rectangulares paralelos orientados uma à outra. A configuração permite definir o tamanho da abertura do vão independentemente em largura e altura com um comprimento lateral de 0 a 20mm. Os sensores de posição permitem o posicionamento em loop fechado de cada lâmina para definir com precisão o tamanho e a posição do vão dentro da janela de 20 por 20 mm do invólucro. Estão disponíveis versões especializadas para o uso em ambientes de alto e ultra-alto vácuo. Versões personalizadas também estão disponíveis. Por favor, não hesite em contactar-nos para discutir as suas necessidades específicas.
Mecânica
Dimensões [mm] - 75 x 75 x 20
Aberto
Velocidade [mm/s] - > 20
Resolução [nm] - < 1
Fechado-Loop
Resolução Fechado-Loop MCS2 [nm] - 1 (S) 4 (L)
Repetibilidade de loop fechado, Curso completo MCS2 [nm] - ±30 (S) ,±60 (L)
Resolução Fechado-Loop (H)CU [nm] - 50 (L)
Repetibilidade de loop fechado, curso completo (H)CU [nm] - ± 1000 (L)
Opções
Opções de materiais - Base de aço (-ST); Base de titânio (-TI); Anodizado preto (-BK)
Opções de Vácuo - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar)
Opção Não-Magnética - Sim (-NM)
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