O sistema de posicionamento XYZ mantém a cabeça do sensor e digitaliza o feixe laser sobre a amostra.
O sistema de posicionamento XYZ é utilizado para posicionar o feixe de sonda do interferómetro e para o digitalizar sobre a região de interesse. O sistema de posicionamento é construído em torno de três posicionadores de circuito fechado SmarAct, enclausurados em uma caixa de proteção compacta. Cada posicionador tem um alcance máximo de varredura de 20 mm e uma repetibilidade de 50 nm. A cabeça do sensor é montada no posicionador mais baixo. O sistema de posicionamento XYZ é montado num poste de 25 mm de diâmetro, de modo a que a sua altura seja facilmente ajustada para acomodar amostras de diferentes dimensões. É mesmo possível remover o sistema de posicionamento do seu poste de montagem para instalá-lo em uma configuração personalizada ou para combiná-lo com outro instrumento.
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