Sonda óptica SP series

de laboratóriopara caracterização elétrica

Nosso sistema padrão de nanoprober com 4 ou 8 manipuladores em circuito fechado. O SMARPROBE SP4 é um sistema de sondagem com até 4 manipuladores, enquanto o SMARPROBE SP8 vem com até 8 manipuladores. Cada um dos manipuladores tem 3 graus de liberdade e está equipado com codificadores ópticos de resolução nanométrica para sondagem eléctrica de alta precisão. As rotinas inteligentes de posicionamento implementadas no software de controlo dedicado e a capacidade de carregar até quatro amostras de stubs SEM aumentam a facilidade de operação e o rendimento global de qualquer tarefa de nano-propulsão. O design mecânico robusto garante a mais alta estabilidade e facilidade de operação. Os sistemas de sondagem são compatíveis com uma grande variedade de FIBs, SEMs e microscópios ópticos e, portanto, são perfeitamente adequados para a instalação posterior das sondas existentes e para a integração em novos instrumentos. Os sistemas de sonda SMARPROBE permitem técnicas de caracterização eléctrica desde medições EBIC/EBAC de 2 contactos até medições de sonda de 4 e 6 pontos, o que torna o SMARPROBE uma ferramenta indispensável para o seu laboratório de análise de falhas. Manipulador com Montagem de Sonda - XYZ em circuito fechado Número de Manipuladores - ≤ 4 / ≤ 8 Fase de amostragem - XYZ em circuito fechado Controle - Point & Click, Joystick Área de apalpação [mm] - 25 x 25 Alcance de varredura em XYZ1 [µm] - 3 Desvio Térmico2 [nm/min] - 1 - 10