Painéis de controle de pressão para gases semicondutores da qualidade 6.0
Válvula de gás residual
Válvula manual (pneumática) de gás de processo (EMO-)
Válvula de gás de purga
Válvula de retenção para evitar que o gás de processo flua de volta para a linha de gás puge
Pré-filtro
Regulador de pressão
Disco de ruptura
Filtro para fornecimento de gás de processo sem partículas
Válvula de fechamento da linha de gás de processo
Todas as peças molhadas a gás em aço inoxidável 1.4404 ESU, bem como Hastelloy C e PCTFE
100 % de fugas de hélio testadas
Montagem em sala limpa classe 100/10
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