Painéis de controle da pressão para gás do semicondutor da qualidade 6.0
Válvula de gás Waste
Válvula (pneumática) manual do gás do processo (EMO-)
Válvula de gás da remoção
Válvula de verificação para impedir que o gás do processo flua de novo na linha de gás do puge
Pre-filtro
Regulador de pressão
Disco do estouro
Calibre de pressão do contato para a monitoração do disco do estouro
Válvula de escape
Filtro para o abastecimento de gás partícula-livre do processo
Linha de gás válvula do processo de shut-off
Válvula de respiradouro do sistema (baixa pressão)
Válvula de Shut-off para o teste de impermeabilidade ou o teste do vácuo
Conector do vácuo
Todas as peças gás-molhadas fizeram do aço inoxidável 1.4404 ESU assim como Hastelloy C e PCTFE
100% hélio-escape-testou
Conjunto na classe 100/10 da sala de limpeza
---