Poliborda EPD-X series

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O EPD é um sistema que melhora o Wafer Edge através do polimento de bolachas com padrão. A EPD remove substâncias estranhas e indesejadas do bisel da borda em nós críticos do processo. SpeedFam é o pioneiro dos polidores de borda para a produção de wafers prime. Nós fazemos uso deste sistema com resultados surpreendentes em bolachas de 300mm, 200mm, e 150mm. SpeedFam enviou cerca de 550 polidores de borda para wafers principais desde 1988. O polidor de borda SpeedFam é o padrão global na preparação de borda usada em fábricas de wafer prime em todo o mundo. A SpeedFam suporta 300mm, 200mm e 150mm de produção de wafer prime. O EPD SpeedFam é um Polidor de Borda para melhorar as bordas dos wafers em 300mm, 200mm e 150mm padrão de wafers. Em comparação com a gravação ou outro processamento de borda, como a limpeza simples, o EPD usa a ação de polimento de lama para melhorar drasticamente as bordas dos wafers. Ele é equipado com uma unidade de limpeza pós polimento para alcançar a secagem no processamento a seco.