Máquina de polimento para cerâmica FAM5 seriespara placasautomáticade face simples
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Características
- Material usinado
- para cerâmica
- Aplicações
- para placas
- Outras características
- automática, de face simples, de precisão, mecanoquímica
Descrição
- As máquinas SpeedFam de 50-SPAW e 59-SPAW são sistemas automatizados de polimento mecano-químico de um lado para o processamento de pastilhas de silício nuas. Transportamos automaticamente placas de montagem cerâmica (carregadas e descarregadas com wafers). Estes sistemas são equipados com várias tecnologias avançadas, tais como placas de polimento de baixa expansão térmica e jaquetas de resfriamento, acionamento forçado independente e controle de pressão de precisão para cada transportador de processo.
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Catálogos
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