O 20B-5P-4D é a especificação a mais atrasada para um lustro lateral dobro de bolachas de 300mm ou de 200mm. Com estabilidade incomparável este sistema mass-produces 15 cada bolachas de 200mm por o grupo, e 5 cada bolachas de 300mm por o grupo. Este é o sistema ideal para o nivelamento elevado, a baixa automatização de Nanotopography, a manutenção e o custo da posse. O 20B05P-4D encontra as demandas as mais severas para a precisão e o roll-off.
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