Magnetron rotativo CM

planode pulverização por bombardeamento iônico

O CM é o nosso bloco terminal de montagem externa mais compacto. Pode lidar com alvos até 1000 mm e tem uma potência nominal de até 20 kW DC ou 80 kHz MFAC O bloco terminal de montagem externa CM combina alto desempenho e confiabilidade em um design muito compacto e leve. Características Comprimento do eixo de acionamento personalizável Design compacto e flexível Cartucho de vedação a água de fácil acesso Tecnologia patenteada de fornecimento de energia Enchimento e drenagem de água alvo patenteados Design simples para menos peças Barra magnética que se ajusta externamente a qualquer ângulo Benefícios Maior cobertura do substrato do que os blocos terminais internos Adapta-se à maioria dos modelos de câmaras Todas as utilidades são externas e permanecem presas durante a mudança de destino Alta densidade de embalagem; cátodos duplos em espaço de 220 mm (com um alvo ID de 80 mm) Os motores de acionamento podem ser montados para cima ou para baixo, para dentro ou para fora Alta potência sem impacto de aquecimento indutivo - sem pó de escova Manutenção rápida, simples e interna Permite a co-persão, acoplamento de plasma mais apertado e limita o revestimento da blindagem