O Coletor Binário de Gás (BGMA) tem condutância igual em cada saída para o fluxo de gás mais uniforme e o tempo de resposta de pulverização reativa mais rápida, independentemente do comprimento do coletor.
A uniformidade do fluxo é verificada pela análise de elementos finitos.
Tem um design robusto e simples e é fácil de limpar.
Características
Igualdade de condutas em cada tomada, independentemente do comprimento
Segmentado para gás principal e gases adicionais
Completo com hardware de montagem e blindagem de resíduos
Design robusto e simples
Benefícios
A mais alta uniformidade
Tempo de resposta rápida e reactiva da pulverização catódica
Durável e fácil de limpar
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