Sistema de posicionamento XYZ 782300:222.26
de pórticopara inspeção de wafers e metrologiacom motor de passo

Sistema de posicionamento XYZ - 782300:222.26 - Steinmeyer Holding GmbH - de pórtico / para inspeção de wafers e metrologia / com motor de passo
Sistema de posicionamento XYZ - 782300:222.26 - Steinmeyer Holding GmbH - de pórtico / para inspeção de wafers e metrologia / com motor de passo
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Características

Número de eixos
XYZ
Construção
de pórtico
Aplicações
para inspeção de wafers e metrologia
Outras características
de precisão, com motor de passo, manual
Repetibilidade

MÍN: 3,9 µm

MÁX: 4,4 µm

Velocidade

5 mm/s

Descrição

Personalizável: - Ideal para inspeção de superfícies e medição da espessura de revestimentos de amostras de grandes dimensões até 650 x 650 mm - Medição exacta com repetibilidade até 2 µm - Boa relação preço/desempenho devido ao acionamento com motor passo a passo - Eixo Z forte e robusto para sensores até 20 kg - Adequado para ambientes industriais, por exemplo, poeira, fumo Este sistema de inspeção foi especialmente concebido para o controlo automático da qualidade de amostras grandes e planas até 50 kg. O sistema de posicionamento permite o posicionamento simultâneo do sensor em Z e da amostra em XY num espaço muito compacto. Especificações: - Componente padrão: PLT240-SM (X) / PLT165-SM (Y) / PLT165-Manuell (Z) - Curso: 650 mm (XY) / 100 mm (Z) - Repetibilidade: ± 3,9 - ± 4,4 µm (XYZ) - Velocidade: 5 mm/s (XYZ) - Carga máxima: 300 N (X), 1000 N (Y) / 160 N (Z) - Acionamento: Motor de passo (XY) | manual (Z) - Feedback: - Circuito aberto (XY) Opções personalizadas: - Vários cursos até 1000 mm - Com/sem estrutura e placa de base em granito ou alumínio - Versões ISO 14644-1 (até à classe 1, a pedido), por exemplo, com caixa de proteção e com sistema de exaustão - Soluções individuais para a passagem de cabos - Desacoplamento adaptado das vibrações através de uma camada de borracha amortecedora ou de amortecedores pneumáticos - Utilização imediata com controlador pré-configurado, incluindo software exemplar

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