Sistema de posicionamento XYZ 782300:179.26

de pórticopara a indústria dos semicondutorespara sala limpa

Portal XXL XYZ com mandril de vácuo Personalizável: - Ideal para inspeção automatizada de superfícies com variação de focagem - Concebida para amostras com peso até 50 kg (excluindo a fase de vácuo) - Amortecimento passivo de vibrações e desacoplamento das vibrações do edifício (classe de qualidade 3 da câmara de medição padrão, de acordo com a VDI 2627) - Vida útil extremamente longa com 1.000.000 de ciclos completos e um intervalo de manutenção de 500.000 ciclos completos ou a cada 2 anos Este sistema de posicionamento movimenta uma placa de vácuo numa área de 1000 x 1000 mm. O sistema padrão PMT160-SM é fixado no eixo transversal para o sensor específico do cliente, que é utilizado para a variação de foco. Os eixos são totalmente fechados, o que evita contaminações e interferências. Características técnicas: - Sistema padrão: PLT320-SM (XY) / PMT160-SM (Z) - Curso: 1000 mm (XY) / 100 mm (Z) - Repetibilidade: ± 3,9 - ± 4,4 µm (XY) / ± 1,9 - ± 2,4 µm (Z) - Velocidade de posicionamento: 30 mm/s (XY) / 10 mm/s (Z) - Carga máxima: 490 N (XY) / 40 N (F) / ± 45 N (Z) - Motor: Motor de passo (XYZ) - Guia: Fuso de esferas (XYZ) - Guia: Calha de perfil (XY) / Rolamento de rolos cruzados (Z) - Feedback: Circuito aberto (XYZ) - Dimensões x largura x altura: 2250 x 1500 x 1500 mm Opções personalizadas: - Com escala linear para precisão de até 0,3 µm - Configuração modular do sistema - Armário de segurança - Configuração especial para semicondutores, biotecnologia, produtos farmacêuticos - Versões para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Controlo de movimento pronto a usar com controlador pré-configurado, incluindo software de amostra - Desenvolvimento de soluções individuais com design 3D para a tarefa de posicionamento