Sistema de posicionamento XYZ 782300:193.26

linearpara inspeção de wafers e metrologiapara controle da qualidade

Sistema XYZ para inspeção e controlo de qualidade Personalizável: - Precisão de excentricidade muito elevada e repetibilidade até 0,3 µm - Posicionamento de cargas até 150 N com um acionamento económico - Velocidades elevadas até 50 mm/s - Redução de erros aleatórios ao mínimo - Fácil integração e combinação flexível com sistemas de câmaras e sensores existentes O sistema de posicionamento permite o posicionamento em três eixos lineares. Nesta unidade, um estágio linear PMT160 é montado numa mesa cruzada KT470 com um suporte adaptador. Este sistema permite obter baixos erros de excentricidade, em termos de retidão e planicidade, que são obtidos através da utilização de rolos cruzados. Especificações: - Curso: 300 mm (XY) / 100 mm (Z) - Repetibilidade: ± 0,3 - ± 1,7 µm (XYZ) - Velocidade de posicionamento: 25 mm/s (XY) - Carga máxima: 45 N (X) / 150 N (YZ) - Motor: Motor DC - Feedback: Escala linear Opções personalizadas: - Diferentes trajectos no eixo Z de 50 - 300 mm - Diversas variantes de motor: Motor DC ou motor de passo - Utilização imediata com controlador pré-configurado, incluindo software exemplar - Versões para salas limpas ISO 14644-1