Sistema de posicionamento XYZ 782300:113.26
linearpara inspeção de wafers e metrologiapara laboratório

sistema de posicionamento XYZ
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Características

Número de eixos
XYZ
Construção
linear
Aplicações
para inspeção de wafers e metrologia, para laboratório
Outras características
com fuso de esferas, com motor CC, de alta resolução, módulos combinados, de rolamentos de rolos cruzados, com controlador, alta precisão
Repetibilidade

MÍN: 0,5 µm

MÁX: 1,5 µm

Curso

50 mm, 150 mm, 300 mm
(1,97 in, 5,91 in, 11,81 in)

Velocidade

25 mm/s

Descrição

Sistema XYZ para laboratório e inspeção de bolachas Personalizável: - Ideal para a configuração e expansão da sua aplicação - Repetibilidade altamente precisa até 0,5 µm - Passos mais pequenos e maior fiabilidade a uma velocidade de posicionamento comparativamente elevada de 50 mm/s - Planicidade perfeita de ± 0,5 µm para o posicionamento de cargas médias até 150 N Esta combinação XY com unidade vertical Z separada é composta pelos eixos lineares padrão de alta precisão e durabilidade do PMT160. Esta combinação é adequada para todas as aplicações que requerem uma planeza perfeita, as mais pequenas tolerâncias para inclinação e guinada e um comportamento de funcionamento suave. Características técnicas: - Componente standard: PMT160-DC (XYZ) - Curso: 300 mm (X) / 150 mm (Y) / 50 mm (Z) - Repetibilidade: ± 0,5 - ± 1,5 µm (XYZ) - Velocidade de posicionamento: 25 mm/s (XYZ) - Carga máxima: 45 N (X) / 150 N (YZ) - Motor: Motor DC, fuso de esferas - Feedback: Escala linear Opções personalizadas: - Diferentes trajectos por eixo de 50 - 300 mm - Movimentos de rotação em combinação com DT130 ou DT200 - Diversas variantes de motor: Motor DC, motor de passo, motor linear e nanomotor - Utilização imediata com controlador pré-configurado, incluindo software exemplar - Versões para salas limpas ISO 14644-1

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