Sistema de posicionamento de 3 eixos 782476:001.26
horizontalrotativoautomático

sistema de posicionamento de 3 eixos
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Características

Número de eixos
de 3 eixos
Construção
automático, rotativo, horizontal
Aplicações
para inspeção de wafers e metrologia, para a indústria dos semicondutores, para a indústria farmacêutica
Outras características
compacto, com fuso de esferas, de precisão, com motor de passo, sob alto vácuo
Repetibilidade

0,8 µm, 1 µm

Carga

5 kg
(11,02 lb)

Curso

5 mm, 15 mm
(0,2 in, 0,59 in)

Velocidade

2 mm/s

Descrição

Alinhador de alto vácuo MP410-3 até 10E-6 mbar Personalizável: - Ideal para medições de transferência em vácuo até 10-6 mbar - Concebido para amostras grandes com uma abertura de 235 mm - Elevada repetibilidade até 1 µm com uma capacidade de carga de 5 kg - Transmissão de força ideal devido à utilização do fuso de esferas sem folga 1214 - Relação preço/desempenho optimizada com parâmetros de funcionamento precisos Com este alinhador, são efectuados segundos movimentos de translação de 15 mm no plano e uma rotação em torno da vertical de até ± 5 graus. O movimento R (Phi) resulta da combinação XY. Características: - Componente padrão: LA85 (XYRz) - Curso: ± 15 mm (XY) / ± 5 mm (Z) - Repetibilidade: ± 1,6 - ± 2,1 µm (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 µm (Rz) - Velocidade de posicionamento: 30 - 60 mm/s (XY) / 15 - 30 mm/s (Rz) - Carga máxima: 250 N (XYRz) - Motor: Schrittmotor, Kugelgewindetrieb - Feedback: Circuito aberto Opções personalizadas: - Adaptação ao processo: abertura, suporte, alimentador, sensor - Configuração para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Design individual com rack, isolamento de vibrações, invólucro - Desenvolvimento de soluções individuais com design 3D para a tarefa de posicionamento

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