Alinhador de alto vácuo MP410-3 até 10E-6 mbar
Personalizável:
- Ideal para medições de transferência em vácuo até 10-6 mbar
- Concebido para amostras grandes com uma abertura de 235 mm
- Elevada repetibilidade até 1 µm com uma capacidade de carga de 5 kg
- Transmissão de força ideal devido à utilização do fuso de esferas sem folga 1214
- Relação preço/desempenho optimizada com parâmetros de funcionamento precisos
Com este alinhador, são efectuados segundos movimentos de translação de 15 mm no plano e uma rotação em torno da vertical de até ± 5 graus. O movimento R (Phi) resulta da combinação XY.
Características:
- Componente padrão: LA85 (XYRz)
- Curso: ± 15 mm (XY) / ± 5 mm (Z)
- Repetibilidade: ± 1,6 - ± 2,1 µm (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 µm (Rz)
- Velocidade de posicionamento: 30 - 60 mm/s (XY) / 15 - 30 mm/s (Rz)
- Carga máxima: 250 N (XYRz)
- Motor: Schrittmotor, Kugelgewindetrieb
- Feedback: Circuito aberto
Opções personalizadas:
- Adaptação ao processo: abertura, suporte, alimentador, sensor
- Configuração para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido)
- Design individual com rack, isolamento de vibrações, invólucro
- Desenvolvimento de soluções individuais com design 3D para a tarefa de posicionamento
---