Sistema de posicionamento XYZ 782327:003.24
automáticopara inspeção de wafers e metrologiapara microscopia

sistema de posicionamento XYZ
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Características

Número de eixos
XYZ
Construção
automático
Aplicações
para inspeção de wafers e metrologia, para microscopia, para aplicações ópticas
Outras características
compacto, com motor CC, com trilho perfilado, alta precisão
Repetibilidade

MÁX: 4 µm

MÍN: 0,8 µm

Carga

1 kg
(2,2 lb)

Curso

MÁX: 25 mm
(0,98 in)

MÍN: 25 mm
(0,98 in)

Velocidade

MÁX: 3,6 mm/s

MÍN: 1,3 mm/s

Descrição

MP63-3 Sistema de posicionamento XYZ miniatura, cartesiano Personalizável: - taxas de resolução muito elevadas - ideal para espaços de construção limitados - capacidade de carga até 10 N - ajuste mais fino para aplicações graças a um fuso de rosca fina - longa vida útil e movimento particularmente preciso através de rolamento de carril perfilado Este sistema X-Y-Z miniaturizado é ideal para aplicações de posicionamento em locais com espaço limitado. Em combinação com um fuso de rosca fina, o XYZ Stage atinge valores de resolução muito elevados. Ao mesmo tempo, este sistema de posicionamento de alta precisão oferece uma óptima relação preço/desempenho. Características técnicas: - Componente padrão: MT63-DC - Curso: 25 mm - Repetibilidade: ± 0,8 - ± 3,8 µm (XYZ) - Velocidade de posicionamento: 1,8 - 3,6 mm/s (XY) / 0,9 - 1,8 mm/s (Z) - Carga máxima: 10 N - Motor: Motor DC, carril de perfil - Feedback: Codificador de motor - Componente padrão: MT63-SM - Curso: 25 mm - Repetibilidade: ± 1 - ± 4 µm (XYZ) - Velocidade de posicionamento: 1,3 - 2,6 mm/s (XYZ) - Carga máxima: 10 N - Motor: Motor de passo, carril de perfil

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