Sistema de posicionamento multieixos 782497:008.26

hexápoderotativopara inspeção de wafers e metrologia

MP200-3 Sistema de posicionamento Z-Phi Delta em miniatura, tripé Para além do alinhador MP200-5, que permite o ajuste em cinco graus de liberdade, este alinhador foi concebido com três graus de liberdade. É constituído internamente por três eixos de precisão de ação vertical, que estão ligados à placa de carga móvel por meio de juntas sólidas. Assim, a placa de carga pode ser inclinada em dois eixos e também ajustada em altura. Uma vez que o alinhamento das peças de trabalho é frequentemente suficiente, o ajuste vertical pode ser utilizado para compensar pacotes de lentes de diferentes alturas, especialmente na montagem de ópticas. Além disso, um manipulador de 5 eixos com uma grande amplitude de deslocação em XY pode ser realizado a partir deste manipulador e de uma mesa de luz transmitida transversalmente ou de uma mesa cruzada. Por exemplo, o KDT310, KT310 ou KDT235 podem ser utilizados como sistemas XY. Características técnicas: - Componente padrão: MT63-SM (Z, Rx, Ry) - Curso: 4 mm (Z) / 3 mm (Rx, Ry) - Repetibilidade: ± 0,07 - ± 1 µm (Z) / ± 0,00005 - ± 0,00020 µm (Rx, Ry) - Velocidade de posicionamento: 0,5 mm/s (Z) / 0,4 mm/s s (Rx, Ry) - Carga máxima: 20 N - Motor: Motor de passo (SM), correia de rosca deslizante - Feedback: Motor-codificador - Luz transmitida: 45 mm