Sistema de posicionamento multieixos 782300:056.26

2-3 eixosautomáticopara a indústria dos semicondutores

Sistema de posicionamento XY-Phi miniatura MP53-2-1 Sistema Phi-XY com motor Piezo Pequeno manipulador para movimento xy e rotação. O curso linear é de 10 mm e ± 5 graus em rotação. Resolução extremamente elevada na gama de nm através de accionamentos piezoeléctricos. A rotação é realizada por um estágio linear que actua sobre um rolamento rotativo através de um acoplamento flexível. Junta fixa para alinhamento de peças O sistema de três eixos destina-se ao alinhamento de peças e amostras. Uma vez que apenas pequenos percursos de alguns milímetros ou graus são suficientes para tais movimentos de correção, pode ser gerado um movimento rotativo com um estágio linear se este transmitir o seu movimento a um estágio rotativo passivo através de uma junta de estado sólido. A vantagem de uma tal junta de estado sólido é que transfere completamente a precisão da fase linear para a fase rotativa. Se a deflexão for inferior a 5 graus, a rigidez desta junta também é suficiente para transmitir movimentos na gama dos nanómetros nas direcções de tração e compressão. Características técnicas: - Sistema padrão: MT53-PM (XYRz) - Curso: 10 mm - Repetibilidade: ± 0,4 - ± 0,7 µm (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 µm (Rz) - Velocidade de posicionamento: 5 - 10 mm/s (XY) / 5 - 20 mm/s (Rz) - Carga máxima: 5 N - Motor: Motor Piezo, rolamentos de rolos cruzados - - Feedback: Escala linear - Comprimento x Largura x Altura: 121 x 85 x 76 mm