Sistema de posicionamento de 6 eixos 786015:009.26

multieixoshexápodehorizontal

sistema de posicionamento XYZ-Theta-Phi-Delta miniatura de 6 eixos (sala limpa ISO 5) Personalizável: - Ideal para inspeção automatizada de wafers e ópticas até 300 mm / 12" - Elevada repetibilidade de ± 2,5 µm ou ± 0,005° - Excelente precisão, rigidez e compacidade com dimensões de 520 x 600 x 155 mm - Concebida para utilização em operações de 3 turnos até à classe de sala limpa ISO 5 O manipulador de 6 eixos inclui uma fase XY no eixo horizontal e um tripé para cursos verticais e duas inclinações, o que combina os pontos fortes das concepções cinemáticas cartesianas e paralelas num único sistema. Especificações: - Sistema padrão: MT95 (XY) / 3x MT95 (Z, Rx, Ry) - Curso: 30 mm (XY) / 20 mm (Z) / 4 mm (Rx, Ry) / n x 360 (Rz) - Repetibilidade: ± 1,5 - ± 3,5 µm (XYZ) / 0,0004 - 0,001 µm (Rx, Ry) / 0,05 - 0,1 µm (Rz) - Velocidade de posicionamento: 1,1 - 2 mm/s (XYZ) / 0,03 -0,5 mm/s (Rx, Ry) / 100 - 200 mm/s (Rz) - Carga máxima: 65 N (X, Y, Rx, Ry) / 100 N (Z) / 20 N (Rz) - Motor: Motor DC, Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen (X,Y, Rx, Ry) / Schrittmotor, Riemen (Rz) - Feedback: Codificador de motor - Comprimento x largura x altura: 520 x 600 x 155 mm Opções personalizadas: - Testado para aplicações específicas e pronto para uso imediato com controlador de movimento plug-and-play, incluindo software de amostra - Versão especial para amostras até 450 mm / 18" - Diferentes versões para salas limpas ISO 14644-1 (até à classe 1, a pedido) - Sistema modular multi-eixos com cabeças de processamento personalizadas / intercambiáveis - Vários suportes de amostras, integração em fluxos de trabalho - Desenvolvimento de soluções individuais com design 3D para a tarefa de posicionamento