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Mesa de coordenadas linear LA92
com motor linearde 1 eixode precisão

mesa de coordenadas linear
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Características

Orientação
linear
Tipo
com motor linear
Número de eixos
de 1 eixo
Outras características
de precisão, de alumínio, para microscópio, industrial, compatível com vácuo, automática, para manipulação de wafers, de rolos cruzados
Curso

MÁX: 40 mm
(1,575 in)

MÍN: 1 mm
(0,039 in)

Velocidade

MÁX: 200 mm/s

MÍN: 1 mm/s

Repetibilidade

MÁX: 5 µm

MÍN: 0,3 µm

Carga

MÁX: 1,9 kg
(4,19 lb)

MÍN: 0,9 kg
(1,98 lb)

Descrição

LA92 Eixo linear UHV de alta velocidade Aplicações: Aplicações de digitalização rápida e de alta resolução Vantagens: Posicionamento rápido em UHV, também verticalmente Características: Excelente resolução, muito fino, com motor interno - Vácuo: todas as áreas HV / UHV até 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético | pouco magnético | sem ímanes - Lubrificação: líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Pode ser combinado com um sistema de transferência XYZ (por exemplo, LA90, LA95, LA170) - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Opcional com controlador de movimento FMC400/450 Dados técnicos - Curso: 40 mm - Repetibilidade: ± 0,3 µm (unidirecional) ± 0,4 µm (bidirecional) - Carga: → 19 N / ↑ 9 N - Velocidade máx. Velocidade: 200 mm/s - Motor: Nanomotion - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbridos, opcionais de cerâmica completa - Feedback: Escala linear - Resolução da realimentação: 0.005 µm - 0,1 µm

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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