- Mecânica - Transmissão de potência
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- Mesa de coordenadas linear
- Steinmeyer Holding GmbH
Mesa de coordenadas linear LA80elétricade 1 eixode precisão
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Características
- Orientação
- linear
- Tipo
- elétrica
- Número de eixos
- de 1 eixo
- Outras características
- de precisão, de alumínio, industrial, compatível com vácuo, de alta velocidade, de longo curso, para manipulação de wafers
- Curso
MÁX: 500 mm
(19,685 in)MÍN: 1 mm
(0,039 in)- Velocidade
MÁX: 100 mm/s
MÍN: 1 mm/s
- Repetibilidade
MÁX: 5 µm
MÍN: 0,3 µm
- Carga
MÁX: 4,9 kg
(10,8 lb)MÍN: 0,9 kg
(1,98 lb)
Descrição
LA80
Eixo linear UHV de alta velocidade
Aplicação: fase de transporte rápido
Vantagem: elevado tempo de vida útil apesar do lubrificante seco
Características: acionamento por fuso de esferas com lubrificação a seco
- Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar
- Magnetismo: magnético
- Lubrificação: líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar
- Temperatura máxima de cozedura: 120°C
Opções:
- Opcionalmente com e sem sistema de medição
- Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação
- Pode ser combinado com um sistema rápido de transferência XYZ (por exemplo, LA90, LA95, LA170)
- Adaptação individual à situação de instalação na câmara
- Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido)
- Opcional com controlador de movimento FMC400/450
Dados técnicos
- Curso: 200mm - 500mm
- Repetibilidade:
± 3µm, ± 0,3µm (unidirecional)
± 4µm, ± 0,5µm (bidirecional)
- Carga: → 49 N / ↑ 9 N
- Velocidade máx. Velocidade: 100 mm/s
- Motor: Motor de passo
- Rolamentos: Guias de esferas de recirculação híbridas em aço inoxidável
- Feedback: Circuito aberto, escala linear
- Resolução da realimentação: ± 0,5 µm
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