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Mesa de coordenadas linear LA80
elétricade 1 eixode precisão

Mesa de coordenadas linear - LA80 - Steinmeyer Holding GmbH - elétrica / de 1 eixo / de precisão
Mesa de coordenadas linear - LA80 - Steinmeyer Holding GmbH - elétrica / de 1 eixo / de precisão
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Características

Orientação
linear
Tipo
elétrica
Número de eixos
de 1 eixo
Outras características
de precisão, de alumínio, industrial, compatível com vácuo, de alta velocidade, de longo curso, para manipulação de wafers
Curso

MÍN: 1 mm
(0,039 in)

MÁX: 500 mm
(19,685 in)

Velocidade

MÍN: 1 mm/s

MÁX: 100 mm/s

Repetibilidade

MÍN: 0,3 µm

MÁX: 5 µm

Carga

MÍN: 0,9 kg
(1,98 lb)

MÁX: 4,9 kg
(10,8 lb)

Descrição

LA80 Eixo linear UHV de alta velocidade Aplicação: fase de transporte rápido Vantagem: elevado tempo de vida útil apesar do lubrificante seco Características: acionamento por fuso de esferas com lubrificação a seco - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético - Lubrificação: líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Opcionalmente com e sem sistema de medição - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Pode ser combinado com um sistema rápido de transferência XYZ (por exemplo, LA90, LA95, LA170) - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador de movimento FMC400/450 Dados técnicos - Curso: 200mm - 500mm - Repetibilidade: ± 3µm, ± 0,3µm (unidirecional) ± 4µm, ± 0,5µm (bidirecional) - Carga: → 49 N / ↑ 9 N - Velocidade máx. Velocidade: 100 mm/s - Motor: Motor de passo - Rolamentos: Guias de esferas de recirculação híbridas em aço inoxidável - Feedback: Circuito aberto, escala linear - Resolução da realimentação: ± 0,5 µm

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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