Mesa de coordenadas linear LA170

com motor linearde 1 eixode rolos cruzados

LA170 Eixo linear XYZ preciso de alta carga Aplicações: Estágio de transporte, estágio de varrimento para cargas elevadas Vantagem: Elevado tempo de vida útil apesar do lubrificante seco Características: parafuso de avanço com lubrificante seco ou parafuso de esferas com lubrificante líquido - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético - Lubrificação: líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador FMC400/450 Dados técnicos - Curso: 60 mm - 130 mm - Repetibilidade: ± 2,8 µm, ± 0,4 µm (unidirecional) ± 4 µm, ± 0,5 µm (bidirecional) - Carga: → 196 N / ↑ 196 N - Velocidade máx. Velocidade: 10 mm/s - Motor: Motor de passo - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbrido - Feedback: Escala linear - Resolução da realimentação: ± 0,1 µm