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Mesa de coordenadas linear LA170
com motor linearde 1 eixode rolos cruzados

mesa de coordenadas linear
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Características

Orientação
linear
Tipo
com motor linear
Número de eixos
de 1 eixo
Outras características
de precisão, industrial, de rolos cruzados
Curso

MÁX: 130 mm
(5,118 in)

MÍN: 1 mm
(0,039 in)

Velocidade

MÁX: 10 mm/s

MÍN: 1 mm/s

Repetibilidade

MÁX: 5 µm

MÍN: 0,4 µm

Carga

MÁX: 19,6 kg
(43,21 lb)

MÍN: 19,6 kg
(43,21 lb)

Descrição

LA170 Eixo linear XYZ preciso de alta carga Aplicações: Estágio de transporte, estágio de varrimento para cargas elevadas Vantagem: Elevado tempo de vida útil apesar do lubrificante seco Características: parafuso de avanço com lubrificante seco ou parafuso de esferas com lubrificante líquido - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético - Lubrificação: líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador FMC400/450 Dados técnicos - Curso: 60 mm - 130 mm - Repetibilidade: ± 2,8 µm, ± 0,4 µm (unidirecional) ± 4 µm, ± 0,5 µm (bidirecional) - Carga: → 196 N / ↑ 196 N - Velocidade máx. Velocidade: 10 mm/s - Motor: Motor de passo - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbrido - Feedback: Escala linear - Resolução da realimentação: ± 0,1 µm

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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