- Mecânica - Transmissão de potência
- Atuador e Posicionamento
- Mesa de coordenadas linear
- Steinmeyer Holding GmbH
Mesa de coordenadas linear LT300elétricade 1 eixode precisão
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Características
- Orientação
- linear
- Tipo
- elétrica
- Número de eixos
- de 1 eixo
- Outras características
- de precisão, de alumínio, industrial, compatível com vácuo, alta carga, para manipulação de wafers, com fuso de esferas, de rolos cruzados, de fuso
- Curso
MÁX: 100 mm
(3,937 in)MÍN: 1 mm
(0,039 in)- Velocidade
MÁX: 10 mm/s
MÍN: 1 mm/s
- Repetibilidade
MÁX: 5 µm
MÍN: 0,4 µm
- Carga
MÁX: 12 kg
(26,46 lb)MÍN: 4,4 kg
(9,7 lb)
Descrição
LT300
Estágio linear preciso de alta carga
Aplicações: Estágio de transporte, estágio de varrimento para cargas elevadas
Vantagem: Elevado tempo de vida útil apesar da lubrificação a seco
Características: parafuso de avanço com lubrificação a seco ou parafuso de esferas com travões piezoeléctricos líquidos para estabilidade em nm
- Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar
- Magnetismo: magnético
- Lubrificação: líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar
- Temperatura máxima de cozedura: 120°C
Opções:
- Disponível com piezo-interrutor
- Seleção do material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação
- Adaptação individual à situação de instalação na câmara
- Opcional com controlador FMC400/450
Dados técnicos
- Curso: 50 mm - 100 mm
- Repetibilidade:
± 2,4 µm, ± 0,4 µm (unidirecional)
± 1,9 µm (bidirecional)
- Carga: → 44 N / ↑ 120 N
- Velocidade máx. Velocidade: 10 mm/s
- Motor: Motor de passo
- Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbrido
- Feedback: Escala linear
- Resolução da realimentação: ± 0,1 µm
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