Mesa de coordenadas linear LA97
piezoelétricade 1 eixode precisão

mesa de coordenadas linear
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Características

Orientação
linear
Tipo
piezoelétrica
Número de eixos
de 1 eixo
Outras características
de precisão, de alumínio, industrial, compatível com vácuo, guiada sem atrito, para manipulação de wafers, de rolos cruzados
Curso

MÍN: 1 mm
(0,039 in)

MÁX: 300 mm
(11,811 in)

Velocidade

MÍN: 1 mm/s

MÁX: 10 mm/s

Repetibilidade

MÍN: 0,015 µm

MÁX: 5 µm

Carga

MÍN: 1,9 kg
(4,19 lb)

MÁX: 9,8 kg
(21,61 lb)

Descrição

LA97 Estágio linear nanométrico Aplicação: digitalização Vantagem: posicionamento nanométrico, também na vertical Características: posicionamento com extrema resolução e máxima rigidez pode ser equipado com 2 (ou 4) motores - Vácuo: todas as gamas de pressão HV / UHV até 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético | pouco magnético | sem ímanes - Lubrificação: líquido até 10E-8 / lubrificante seco até 10E-11 mbar - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Versões magnéticas, pouco magnéticas e sem ímanes disponíveis - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador FMC400/450 Dados técnicos - Curso: 100 mm - 300 mm - Repetibilidade: ± 0,015 µm (unidirecional) ± 0,02 µm (bidirecional) - Carga: → 98 N / ↑ 58 N - Velocidade máx. Velocidade: 10 mm/s - Motor: Motor Piezo - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbrido, cerâmica completa opcional - Feedback: Escala linear - Resolução da realimentação: ± 0,1 µm

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