LA97
Estágio linear nanométrico
Aplicação: digitalização
Vantagem: posicionamento nanométrico, também na vertical
Características: posicionamento com extrema resolução e máxima rigidez pode ser equipado com 2 (ou 4) motores
- Vácuo: todas as gamas de pressão HV / UHV até 10E-11 mbar
- Magnetismo: magnético | pouco magnético | sem ímanes
- Lubrificação: líquido até 10E-8 / lubrificante seco até 10E-11 mbar
- Temperatura máxima de cozedura: 120°C
Opções:
- Versões magnéticas, pouco magnéticas e sem ímanes disponíveis
- Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação
- Adaptação individual à situação de instalação na câmara
- Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido)
- Opcional com controlador FMC400/450
Dados técnicos
- Curso: 100 mm - 300 mm
- Repetibilidade:
± 0,015 µm (unidirecional)
± 0,02 µm (bidirecional)
- Carga: → 98 N / ↑ 58 N
- Velocidade máx. Velocidade: 10 mm/s
- Motor: Motor Piezo
- Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbrido, cerâmica completa opcional
- Feedback: Escala linear
- Resolução da realimentação: ± 0,1 µm
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