- Mecânica - Transmissão de potência
- Atuador e Posicionamento
- Mesa de coordenadas linear
- Steinmeyer Holding GmbH
Mesa de coordenadas linear LA95elétricade 1 eixode precisão
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Características
- Orientação
- linear
- Tipo
- elétrica
- Número de eixos
- de 1 eixo
- Outras características
- de precisão, de alumínio, compatível com vácuo, para manipulação de wafers, de circuito aberto, de rolos cruzados
- Curso
MÁX: 185 mm
(7,283 in)MÍN: 1 mm
(0,039 in)- Velocidade
MÁX: 8,4 mm/s
MÍN: 1 mm/s
- Repetibilidade
MÁX: 5 µm
MÍN: 0,4 µm
- Carga
MÁX: 4,5 kg
(9,92 lb)MÍN: 0,1 kg
(0,22 lb)
Descrição
LA95
- Aplicação: fase de transporte, fase de digitalização
- Vantagem: vida útil elevada apesar do lubrificante seco
- Características: parafuso de avanço com lubrificante seco ou
fuso de esferas com lubrificante líquido
- Vácuo: todas as gamas de pressão HV / UHV até 10E-9 mbar
- Magnetismo: magnético
- Lubrificação: líquido até 10E-8 / lubrificante seco até 10E-11 mbar
- Temperatura máxima de cozedura: 120°C
Dados técnicos
- Curso: 40mm, 80mm, 185mm
- Repetibilidade:
± 1,9 µm, ± 0,4 µm (unidirecional)
± 2.9 µm, ± 0.5 µm (bidirecional)
- Carga: → 45 N / ↑ 40 N
- Velocidade máx. Velocidade: 8,4 mm/s
- Motor: Motor de passo
- Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbridos, opcionalmente de cerâmica
- Feedback: Escala linear, circuito aberto
- Resolução da realimentação: 0.001 µm - 0,1 µm
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