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Mesa de coordenadas linear LA95
elétricade 1 eixode rolos cruzados

mesa de coordenadas linear
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Características

Orientação
linear
Tipo
elétrica
Número de eixos
de 1 eixo
Outras características
de precisão, de alumínio, compatível com vácuo, para manipulação de wafers, de circuito aberto, de rolos cruzados
Curso

MÁX: 185 mm
(7,283 in)

MÍN: 1 mm
(0,039 in)

Velocidade

MÁX: 8,4 mm/s

MÍN: 1 mm/s

Repetibilidade

MÁX: 5 µm

MÍN: 0,4 µm

Carga

MÁX: 4,5 kg
(9,92 lb)

MÍN: 0,1 kg
(0,22 lb)

Descrição

LA95 - Aplicação: fase de transporte, fase de digitalização - Vantagem: vida útil elevada apesar do lubrificante seco - Características: parafuso de avanço com lubrificante seco ou fuso de esferas com lubrificante líquido - Vácuo: todas as gamas de pressão HV / UHV até 10E-9 mbar - Magnetismo: magnético - Lubrificação: líquido até 10E-8 / lubrificante seco até 10E-11 mbar - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Dados técnicos - Curso: 40mm, 80mm, 185mm - Repetibilidade: ± 1,9 µm, ± 0,4 µm (unidirecional) ± 2.9 µm, ± 0.5 µm (bidirecional) - Carga: → 45 N / ↑ 40 N - Velocidade máx. Velocidade: 8,4 mm/s - Motor: Motor de passo - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbridos, opcionalmente de cerâmica - Feedback: Escala linear, circuito aberto - Resolução da realimentação: 0.001 µm - 0,1 µm

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    * Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.