Mesa de coordenadas linear MT53
piezoelétricade 1 eixode precisão

mesa de coordenadas linear
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Características

Orientação
linear
Tipo
piezoelétrica
Número de eixos
de 1 eixo
Outras características
de precisão, de alumínio, miniatura, industrial, compatível com vácuo, para manipulação de wafers, de rolos cruzados
Curso

MÁX: 10 mm
(0,394 in)

MÍN: 1 mm
(0,039 in)

Velocidade

MÁX: 10 mm/s

MÍN: 0,2 mm/s

Repetibilidade

MÁX: 5 µm

MÍN: 0,2 µm

Carga

MÁX: 0,9 kg
(1,98 lb)

MÍN: 0,5 kg
(1,1 lb)

Descrição

MT53 Microestágio de alta resolução Aplicação: microestágio multiusos Vantagem: para digitalização de alta resolução Características: posicionamento com resolução muito elevada - Vácuo: todas as gamas de pressão HV /UHV até 10E-11 mbar - Lubrificação: líquido até 10E-8mbar / lubrificante seco até 10E-11mbar - Magnetismo: magnético - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Opcional com o controlador FMC400/450 Dados técnicos: - Curso: 10 mm - Repetibilidade: - ± 0,2 µm (unidirecional) ± 0,3 µm (bidirecional) - Carga: → 5 N / ↑ 8.8 N - Velocidade máx. Velocidade: 0,2 mm/s - Motor: Motor Piezo - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados - Feedback: Escala linear - Resolução da realimentação: ± 0,1µm

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