MT53
Microestágio de alta resolução
Aplicação: microestágio multiusos
Vantagem: para digitalização de alta resolução
Características: posicionamento com resolução muito elevada
- Vácuo: todas as gamas de pressão HV /UHV até 10E-11 mbar
- Lubrificação: líquido até 10E-8mbar / lubrificante seco até 10E-11mbar
- Magnetismo: magnético
- Temperatura máxima de cozedura: 120°C
Opções:
- Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação
- Adaptação individual à situação de instalação na câmara
- Opcional com o controlador FMC400/450
Dados técnicos:
- Curso: 10 mm
- Repetibilidade: -
± 0,2 µm (unidirecional)
± 0,3 µm (bidirecional)
- Carga: → 5 N / ↑ 8.8 N
- Velocidade máx. Velocidade: 0,2 mm/s
- Motor: Motor Piezo
- Rolamento: rolamentos de rolos cruzados
- Feedback: Escala linear
- Resolução da realimentação: ± 0,1µm
---