- Mecânica - Transmissão de potência
- Atuador e Posicionamento
- Mesa de coordenadas linear
- Steinmeyer Holding GmbH
Mesa de coordenadas linear MT105piezoelétricade 1 eixode precisão
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Características
- Orientação
- linear
- Tipo
- piezoelétrica
- Número de eixos
- de 1 eixo
- Outras características
- de precisão, de alumínio, industrial, miniatura, compatível com vácuo, para manipulação de wafers, de rolos cruzados
- Curso
MÁX: 100 mm
(3,937 in)MÍN: 1 mm
(0,039 in)- Velocidade
MÁX: 100 mm/s
MÍN: 1 mm/s
- Repetibilidade
MÁX: 5 µm
MÍN: 0,2 µm
- Carga
MÁX: 5,5 kg
(12,13 lb)MÍN: 0,4 kg
(0,88 lb)
Descrição
MT105
Aplicação: microestágio multiusos
Vantagem: para digitalização de alta resolução
Características: posicionamento com resolução muito elevada
- Vácuo: todas as gamas de pressão HV /UHV até 10E-11 mbar
- Lubrificação: líquido até 10E-8mbar / lubrificante seco até 10E-11mbar
- Magnetismo: magnético / pouco magnético / sem ímanes
- Temperatura máxima de cozedura: 120°C
Opções:
- Disponível nas versões magnética, pouco magnética e sem magnetismo
- Com até 2 motores diferentes para o movimento de cargas elevadas
- Combinável com o sistema de posicionamento XYZ
- Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido)
- Opcional com o controlador FMC400/450
Dados técnicos:
- Curso: 100 mm
- Repetibilidade: -
± 0,4 µm (unidirecional)
± 0,5 µm (bidirecional)
- Carga: → 4 N / ↑ 55 N
- Velocidade máx. Velocidade: 100 mm/s
- Motor: Motor Piezo
- Rolamento: rolamentos de rolos cruzados
- Feedback: Escala linear
- Resolução da realimentação: 0.005 µm - 1 µm
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