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Mesa de coordenadas linear MT105
piezoelétricade 1 eixode precisão

Mesa de coordenadas linear - MT105 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoelétrica / de 1 eixo / de precisão
Mesa de coordenadas linear - MT105 - Steinmeyer Holding GmbH - piezoelétrica / de 1 eixo / de precisão
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Características

Orientação
linear
Tipo
piezoelétrica
Número de eixos
de 1 eixo
Outras características
de precisão, de alumínio, industrial, miniatura, compatível com vácuo, para manipulação de wafers, de rolos cruzados
Curso

MÍN: 1 mm
(0,039 in)

MÁX: 100 mm
(3,937 in)

Velocidade

MÍN: 1 mm/s

MÁX: 100 mm/s

Repetibilidade

MÍN: 0,2 µm

MÁX: 5 µm

Carga

MÍN: 0,4 kg
(0,88 lb)

MÁX: 5,5 kg
(12,13 lb)

Descrição

MT105 Aplicação: microestágio multiusos Vantagem: para digitalização de alta resolução Características: posicionamento com resolução muito elevada - Vácuo: todas as gamas de pressão HV /UHV até 10E-11 mbar - Lubrificação: líquido até 10E-8mbar / lubrificante seco até 10E-11mbar - Magnetismo: magnético / pouco magnético / sem ímanes - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Disponível nas versões magnética, pouco magnética e sem magnetismo - Com até 2 motores diferentes para o movimento de cargas elevadas - Combinável com o sistema de posicionamento XYZ - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com o controlador FMC400/450 Dados técnicos: - Curso: 100 mm - Repetibilidade: - ± 0,4 µm (unidirecional) ± 0,5 µm (bidirecional) - Carga: → 4 N / ↑ 55 N - Velocidade máx. Velocidade: 100 mm/s - Motor: Motor Piezo - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados - Feedback: Escala linear - Resolução da realimentação: 0.005 µm - 1 µm

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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