Mesa de coordenadas linear KT105
piezoelétricade 2 eixosde precisão

mesa de coordenadas linear
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Características

Orientação
linear
Tipo
piezoelétrica
Número de eixos
de 2 eixos
Outras características
de precisão, compacta, de alumínio, para microscópio, industrial, compatível com vácuo, para manipulação de wafers, de rolos cruzados
Curso

MÁX: 50 mm
(1,969 in)

MÍN: 1 mm
(0,039 in)

Velocidade

MÁX: 50 mm/s

MÍN: 1 mm/s

Repetibilidade

MÁX: 5 µm

MÍN: 0,3 µm

Carga

MÁX: 4,5 kg
(9,92 lb)

MÍN: 0,4 kg
(0,88 lb)

Descrição

KT105-50 Estágio XY de alta resolução Aplicação: estágio XY de vácuo Vantagem: rapidez e alta resolução Características: parâmetros de guinada e inclinação três vezes melhores do que a variante com apertur - Vácuo: todas as áreas HV / UHV até 10-11 mbar - Magnetismo: magnético | pouco magnético | sem ímanes - Lubrificação: líquida até 10-8 / seca até 10-11 mbar - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Com e sem abertura - Disponível nas versões magnética, de baixo magnetismo e sem magnetismo - Diferentes variantes de motor: Nanomotion ou motor piezoelétrico - Combinável com o sistema de posicionamento XYZ (por exemplo, MT105) - Combinável com estágios rotativos (por exemplo, DT105) para aplicações rotativas - Opcional com controlador FMC400/450 Dados técnicos - Curso: 50 mm - Repetibilidade: - ± 0,3 µm, ± 0,5 µm (unidirecional) ± 0,4 µm, ± 0,7 µm (bidirecional) - Carga: → 5 N, 4N / ↑ 45 N - Velocidade máx. Velocidade: 10/50 mm/s - Motor: Motor Piezo / Nanomotion - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados em aço inoxidável, híbrido, opcional totalmente em cerâmica - Feedback: Escala linear - Resolução da realimentação: 0.001 µm - 0,1 µm

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