KT105-50
Estágio XY de alta resolução
Aplicação: estágio XY de vácuo
Vantagem: rapidez e alta resolução
Características: parâmetros de guinada e inclinação três vezes melhores do que a variante com apertur
- Vácuo: todas as áreas HV / UHV até 10-11 mbar
- Magnetismo: magnético | pouco magnético | sem ímanes
- Lubrificação: líquida até 10-8 / seca até 10-11 mbar
- Temperatura máxima de cozedura: 120°C
Opções:
- Com e sem abertura
- Disponível nas versões magnética, de baixo magnetismo e sem magnetismo
- Diferentes variantes de motor: Nanomotion ou motor piezoelétrico
- Combinável com o sistema de posicionamento XYZ (por exemplo, MT105)
- Combinável com estágios rotativos (por exemplo, DT105) para aplicações rotativas
- Opcional com controlador FMC400/450
Dados técnicos
- Curso: 50 mm
- Repetibilidade: -
± 0,3 µm, ± 0,5 µm (unidirecional)
± 0,4 µm, ± 0,7 µm (bidirecional)
- Carga: → 5 N, 4N / ↑ 45 N
- Velocidade máx. Velocidade: 10/50 mm/s
- Motor: Motor Piezo / Nanomotion
- Rolamento: rolamentos de rolos cruzados em aço inoxidável, híbrido, opcional totalmente em cerâmica
- Feedback: Escala linear
- Resolução da realimentação: 0.001 µm - 0,1 µm
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