Mesa de coordenadas linear KT105

piezoelétricade 2 eixosde rolos cruzados

KT105-50 Estágio XY de alta resolução Aplicação: estágio XY de vácuo Vantagem: rapidez e alta resolução Características: parâmetros de guinada e inclinação três vezes melhores do que a variante com apertur - Vácuo: todas as áreas HV / UHV até 10-11 mbar - Magnetismo: magnético | pouco magnético | sem ímanes - Lubrificação: líquida até 10-8 / seca até 10-11 mbar - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Com e sem abertura - Disponível nas versões magnética, de baixo magnetismo e sem magnetismo - Diferentes variantes de motor: Nanomotion ou motor piezoelétrico - Combinável com o sistema de posicionamento XYZ (por exemplo, MT105) - Combinável com estágios rotativos (por exemplo, DT105) para aplicações rotativas - Opcional com controlador FMC400/450 Dados técnicos - Curso: 50 mm - Repetibilidade: - ± 0,3 µm, ± 0,5 µm (unidirecional) ± 0,4 µm, ± 0,7 µm (bidirecional) - Carga: → 5 N, 4N / ↑ 45 N - Velocidade máx. Velocidade: 10/50 mm/s - Motor: Motor Piezo / Nanomotion - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados em aço inoxidável, híbrido, opcional totalmente em cerâmica - Feedback: Escala linear - Resolução da realimentação: 0.001 µm - 0,1 µm