Mesa de coordenadas linear KDT300

elétricade 2 eixosde precisão

KDT300 Estágio xy estável de alta carga Aplicação: plataforma de transporte, plataforma de varrimento para cargas elevadas Vantagem: - tempo de vida elevado apesar do lubrificante seco Características: vida útil elevada apesar da lubrificação a seco - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 - Líquido de lubrificação até 10E-11 - Abertura: 80 x 80 mm - Temperatura máx. Temperatura de cozedura: 120°C Opções: - Com e sem sistema de medição - Opcionalmente com controlador FMC400/450 - Percursos até 80 mm para cargas até 10 kg - Opcionalmente com acionamento por parafuso de avanço ou por fuso de esferas lubrificado para velocidades mais elevadas - Pode ser combinado com mesas rotativas (por exemplo, DT155) para aplicações rotativas - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Projeto para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) Dados técnicos: - Curso: 10 mm, 50 mm, 10 mm - Repetibilidade: - ± 2,8 µm, ± 0,7 µm, ± 0,4 µm, ± 2,8 µm (unidirecional) ± 0,5 µm, ± 4 µm (bidirecional) - Carga: → 44 N / ↑ 120 N - Velocidade máx. Velocidade: 10 mm/s - Motor: Motor de passo - Rolamento: Rolo cruzado de aço inoxidável, híbrido - Feedback: Circuito aberto, escala linear - Resolução de feedback: 0.1 µm