Mesa de coordenadas linear KDT120

piezoelétricade 2 eixosde precisão

KDT120-20 Plataforma XY de alta resolução Aplicação: fase XY de vácuo Vantagem: rápida e de alta resolução Características: parâmetros de guinada e inclinação três vezes melhores do que a variante com abertura - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar - Lubrificação: líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético / pouco magnético / sem ímanes - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C Opções: - Com e sem abertura - Disponível nas versões magnética, de baixo magnetismo e sem magnetismo - Diferentes variantes de motor: Nanomotion ou motor piezoelétrico - Combinável com o sistema de posicionamento XYZ (por exemplo, MT105) - Combinável com estágios rotativos (por exemplo, DT105) para aplicações rotativas - Opcional com controlador FMC400/450 Dados técnicos: - Curso: 24 mm - Repetibilidade: - ± 0,03 µm (unidirecional) - ± 0,05 µm (bidirecional) - Carga: → 5 N / ↑ 45 N - Velocidade máx. Velocidade: - 5 mm/s - Motor: Motor Piezo - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbrido, opcional totalmente cerâmico - Feedback: Escala linear - Resolução da realimentação: 0.005 µm - 0,1µm