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Mesa de coordenadas linear HT160
elétricade 1 eixode rolos cruzados

mesa de coordenadas linear
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Características

Orientação
linear
Tipo
elétrica
Número de eixos
de 1 eixo
Outras características
de precisão, de alumínio, industrial, compatível com vácuo, para manipulação de wafers, de circuito aberto, de rolos cruzados
Curso

MÍN: 1 mm
(0,039 in)

MÁX: 16 mm
(0,63 in)

Velocidade

MÍN: 1 mm/s

MÁX: 2,2 mm/s

Repetibilidade

MÍN: 1 µm

MÁX: 5 µm

Carga

MÍN: 4,5 kg
(9,92 lb)

MÁX: 5 kg
(11,02 lb)

Descrição

HT160 Plataforma de elevação vertical precisa para cargas elevadas Aplicação: plataforma de elevação por vácuo Vantagem: elevada rigidez e carga Características: cunha com fuso de esferas - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar - Lubrificação líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar - Disponível na versão magnética - Temperatura máx. Temperatura de cozedura: 120°C Opções: - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador FMC400/450 Dados técnicos: - Curso: 16 mm - Repetibilidade: - ± 1 µm, ± 1,7 µm (unidirecional) ± 1,7 µm, ± 2 µm (bidirecional) - Carga: → 50 N / ↑ 45 N - Velocidade máx. Velocidade: 2,2 mm/s - Motor: Motor de passo - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbrido - Feedback: Circuito aberto, escala linear - Resolução da realimentação: nenhuma ou linear

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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    * Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.