- Mecânica - Transmissão de potência
- Atuador e Posicionamento
- Mesa de coordenadas linear
- Steinmeyer Holding GmbH
Mesa de coordenadas linear HT160elétricade 1 eixode precisão
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Características
- Orientação
- linear
- Tipo
- elétrica
- Número de eixos
- de 1 eixo
- Outras características
- de precisão, de alumínio, industrial, compatível com vácuo, para manipulação de wafers, de circuito aberto, de rolos cruzados
- Curso
MÁX: 16 mm
(0,63 in)MÍN: 1 mm
(0,039 in)- Velocidade
MÁX: 2,2 mm/s
MÍN: 1 mm/s
- Repetibilidade
MÁX: 5 µm
MÍN: 1 µm
- Carga
MÁX: 5 kg
(11,02 lb)MÍN: 4,5 kg
(9,92 lb)
Descrição
HT160
Plataforma de elevação vertical precisa para cargas elevadas
Aplicação: plataforma de elevação por vácuo
Vantagem: elevada rigidez e carga
Características: cunha com fuso de esferas
- Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar
- Lubrificação líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar
- Disponível na versão magnética
- Temperatura máx. Temperatura de cozedura: 120°C
Opções:
- Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação
- Adaptação individual à situação de instalação na câmara
- Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido)
- Opcional com controlador FMC400/450
Dados técnicos:
- Curso: 16 mm
- Repetibilidade: -
± 1 µm, ± 1,7 µm (unidirecional)
± 1,7 µm, ± 2 µm (bidirecional)
- Carga: → 50 N / ↑ 45 N
- Velocidade máx. Velocidade: 2,2 mm/s
- Motor: Motor de passo
- Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbrido
- Feedback: Circuito aberto, escala linear
- Resolução da realimentação: nenhuma ou linear
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Cleanroom, Vacuum & Beam Positioning Stages: Linear Stages, Lifting Stages, XY Stages, Rotary Stages
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