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Mesa de coordenadas linear HDT255
elétricade 1 eixode precisão

mesa de coordenadas linear
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Características

Orientação
linear
Tipo
elétrica
Número de eixos
de 1 eixo
Outras características
de precisão, de alumínio, industrial, compatível com vácuo, para manipulação de wafers, de circuito aberto, de rolos cruzados
Curso

MÁX: 16 mm
(0,63 in)

MÍN: 1 mm
(0,039 in)

Velocidade

MÁX: 16,6 mm/s

MÍN: 1 mm/s

Repetibilidade

MÁX: 5 µm

MÍN: 0,7 µm

Carga

MÁX: 9,8 kg
(21,61 lb)

MÍN: 0,5 kg
(1,1 lb)

Descrição

HDT255 Mesa elevatória com grande abertura de carga Aplicação: plataforma elevatória de vácuo Vantagem: - alta rigidez e carga, abertura Características: plataforma em cunha com abertura - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar - Lubrificação líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C Opções: - Com ou sem abertura - Diferentes trajectos- - Opcionalmente com e sem sistema de medição - Versões para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Opcionalmente com controlador FMC400/450 Dados técnicos: - Curso: 16 mm - Repetibilidade: - ± 2,9 µm, ± 0,7 µm (unidirecional) ± 4 µm, ± 1 µm (bidirecional) - Carga: 98 N - Velocidade máx. Velocidade: 16,6 mm/s - Motor: Motor de passo - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados em aço inoxidável, híbrido - Feedback: Escala linear - Resolução de feedback: 0.1 µm

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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