- Mecânica - Transmissão de potência
- Atuador e Posicionamento
- Mesa de coordenadas linear
- Steinmeyer Holding GmbH
Mesa de coordenadas linear HT240elétricade 1 eixode precisão
Guardar nos favoritos
Comparar
Características
- Orientação
- linear
- Tipo
- elétrica
- Número de eixos
- de 1 eixo
- Outras características
- de precisão, de alumínio, compatível com vácuo, para manipulação de wafers, de circuito aberto, de rolos cruzados
- Curso
MÁX: 25 mm
(0,984 in)MÍN: 1 mm
(0,039 in)- Velocidade
MÁX: 3,4 mm/s
MÍN: 1 mm/s
- Repetibilidade
MÁX: 5 µm
MÍN: 0,3 µm
- Carga
MÁX: 44 kg
(97 lb)MÍN: 0,5 kg
(1,1 lb)
Descrição
HT240
Plataforma de elevação vertical precisa para cargas elevadas
Aplicação: Plataforma de elevação a vácuo
Vantagem: elevada rigidez e carga
Características: cunha com fuso de esferas
- Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10-11 mbar
- Lubrificação líquida até 10-8 / seca até 10-11 mbar
- Magnetismo: magnético
- Máx. Temperatura de cozedura: 120°C
Opção:
- Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação
- Adaptação individual à situação de instalação na câmara
- Opcional com o controlador FMC400/450
Dados técnicos
- Curso: - 25 mm
- Repetibilidade: -
± 1,7 µm, ± 0,3 µm (unidirecional)
± 2,7 µm, ± 0,5 µm (bidirecional)
- Carga: → 440N / ↑ 410 N
- Velocidade máx. Velocidade: 3,4 mm/s
- Motor: Motor Piezo
- Rolamentos: Rolo cruzado de aço inoxidável, híbrido
- Feedback: Escala linear
- Resolução de feedback: 1 µm
---
Catálogos
Não estão disponíveis catálogos para este produto.
Ver todos os catálogos da Steinmeyer Holding GmbHOutros produtos Steinmeyer Holding GmbH
Cleanroom, Vacuum & Beam Positioning Stages: Linear Stages, Lifting Stages, XY Stages, Rotary Stages
* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.