Sistema de posicionamento XYZ 3-Achs-Strahljustage

linearpiezoelétrico

3-Achs-Strahljustage Sistema UHV XYZ Aplicações: Aplicações de digitalização rápida e de alta resolução Vantagem: - Posicionamento rápido em UHV, também verticalmente Características: Excelente resolução, muito fino, com motor interno - Vácuo: todas as áreas HV / UHV até 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético | pouco magnético | sem ímanes - Lubrificação: líquida até 10E-8 / seca até 10E-11 mbar - Temperatura máxima de cozedura: 120°C Opções: - Seleção de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Pode ser combinado com um sistema de transferência XYZ (por exemplo, LA90, LA95, LA170) - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Opcionalmente com o controlador FMC400/450 - Opcional com controlador de movimento FMC400/450 Dados técnicos: - Curso: 5 mm, 10 mm - Repetibilidade: - ± 0,2 µm (unidirecional) ± 0,3 µm (bidirecional) - Carga: → 5 N / ↑ 8.8 N - Velocidade máx. Velocidade: 10 mm/s - Motor: Motor Piezo - Rolamento: rolamentos de rolos cruzados de aço inoxidável, híbrido, opcional totalmente cerâmico - Feedback: Escala linear - Resolução da realimentação: 0,1 µm, opcionalmente até 0,005 µm